에이텍솔루션이 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 19일부터 21일까지 3일동안 서울 강남구 코엑스에서 개최한 '세미콘 코리아'를 통해 본사 '실리콘 장비 제품군'을 전시한다고 밝혔다.

에이텍솔루션 관계자에 따르면 회사는 2024년 'Electrode(Cathode)'와 'Si Ring'을 선보였는데 주력 고객사의 산화 식각장비(Oxide Etcher) 수요 증가로 인해 실리콘 부품(Si), 실리콘카바이드 링(SiC Ring) 수요 확대에 따른 수혜가 집중될 것이며 올해 하반기부터 200단 이상의 3D NAND 고단화 트렌드가 재차 본격화되면서 실리콘 파츠 수요 역시 회복될 것으로 전망한다.

또한 올해와 내년 Si·SiC Ring Cathode 매출은 전년 대비 300% 이상 성장할 것으로 예상되며 지속적인 성장이 기대되고 Si cathode, Ring 시장점유율은 지속적으로 확대될 것으로 보인다. 올해 하반기부터 SiC Ring 가공·세정·투자 설비가 본격적으로 가동되면 매출과 영업이익에 긍정적인 영향을 미칠 것으로 기대한다.

아울러 올해 Si·SiC Ring 매출 기여도는 전체 매출에 15% 수준까지 성장 예상되며 향후 2~3년 내에 50% 이상을 차지하며 지속 성장을 견인할 것으로 전망한다.

Electrode(Cathode)는 실리콘 플레이트의 마이크로 홀을 흐르는 가스에 RF 전력을 인가하여 플라즈마 상태로 만드는 웨이퍼 에칭 기술에 쓰는 파츠다. Si Ring은 ESC의 웨이퍼 주변에 장착해 균일한 플라즈마 밀도와 에칭 속도를 유지하는 제품이다.

에이텍솔루션 관계자는 “이번 전시회를 통해 에이텍솔루션이 관련 분야에서 최고의 기술력을 갖춘 기업으로서 우수한 성과로 국위선양과 국부창출에 앞장설 것”이라고 말했다.

한편 에이텍솔루션의 Wafer Reclaim은 2018년 삼성전자 Best Contribution Award를 수상했다. 이후 2021년 제48회 상공의날 산업통상자원부 장관상 수상, 2022년 제18회 천안시 기업인의 상 종합 대상 수상, 2022년 제59회 무역의 날 700만불 수출의 탑 수상, 2023년 중소기업 유공자 포상 모범 중소기업인 부문 산업포장 수상 등 지속적인 성과를 인정받았다.

구교현 kyo@etnews.com